Thermocouples for ASM Epsilon Reactors
●AS Mイプシロンの全ての装置にお使いいただけるラインナップを用意
●コスト重視のお客様向けに2種類のGend Xシリーズ
・Gen1.0 OEM標準のクオーツシーツを採用。
・Gen1.1 クオーツメーカー標準サイズのクオーツを採用し、
Gen1.0と比較し 10~30%の寿命延命と低価格を実現
●お客様からの長寿命要求にこたえるGen20 ・Gen2.0 リアクターの改修を
必要とせずGen1.0との比較で、約40~160%の 長寿命化を実現
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