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Perlast^® パーフロロエラストマーはパフォーマンスの向上と優れた機能性によるシーリングソリューションを提供する為に開発されました。

 
G67P 及び G74P はPerlast社独自のユニークなパーフロロエラストマーです。特別に開発された準結晶パーフロロエラストマーナノフィラーシステムとパーフロロエラストマーバックボーンを巧みに混合し最高の純度と優れた物理特性を有する素材を作り出す事に成功しました。
 
完全有機質ナノフィラーシステムを加えることで、 Perlast グレード G67P 及び G74Pは、通常充填剤入りパーフロロエラストマーの様な機械的強度を保ち、無機フィラーシステムでは成しえなかったパーティクル発生を抑制します。充填剤までも有機質なので完全に気化してしまい、パーティクル発生を大幅に減少させます。

最新充填剤システムと最先端のクロスリンキングシステムを結合させることによりセミコンダクターアプリケーションにて最高のパフォーマンスを提供致します。Perlast G67P及びG74Pは高度にフッ素化されたクロスリンクで、高温、プラズマにさらされた状態や過酷なガス環境下においても高いパフォーマンスを発揮します。

ナノフィラーの採用により順応性に優れ、低モジュラス、低浸透率を誇る最高のパフォーマンスを保証するエラストマーが生まれました。これらの材質は半導体製造プロセスにおいて一切の妥協を許さずウエハ歩留まりの向上、PMサイクルの延長を達成してきたことからその材質の卓越性は繰り返し証明されています。