ソフトウェア
フィールドサービスの経験を基本にし半導体業界十数年の技術力で，お客様の要望を具現化致します。
データ収集ソフト枚葉EPI装置
各種データをＳＥＣＳ通信により問い合わせ該当するデータを記録し、リアルタイムにモニター致します。
処理開始のメッセージによりデータを記録し、処理終了のメッセージにより記録したデータをＣＳＶファイル形式で順次保存していきます。
またモニタリング中のデータをグラフ化しデータの変動をグラフにより確認することも出来ます。ＳＥＣＳを使用しているので装置イベント及びアラームなどもメッセージにより取り込むことが出来ます。イベント・アラームはそれぞれ保存されます。
プロトコルコンバーター 枚葉ETCH、バッヂ式ETCH装置
装置及びHOSTとSECS通信を行い，自動化運用の支援を行ったり，装置各種データを記録・保存することもできます。
プロトコルコンバーター インプラント装置
インプラ装置PC DOS/V化（プロコンを設計開発）
インプラ装置処理データ記録システム（プロセス処理データをパソコンに記録）
DNS636 コントローラー
装置組込型制御パネルのボタン部凹みや画面画像不良をPC化にすることによって解決。
PC-98→DOS/Vへ
PC-98で稼動中のシステムを
DOS/Vへ移行、OSの変更、
システムの効率化等ご相談ください。
ソフトウェア
ケース１ オンライン
工場のHOSTコンピューターと装置を接続しレシピ管理・ロット管理・プロセスデータ管理などを実現します。
ケース2 データ管理
装置のプロセスデータを収集し装置を管理します。
データ異常を感知すると、装置を一時停止させ、大量のウエハ不良を防ぐことができます。
ケース3 ツール
レシピエディター、エミュレーター、
データ解析、ペーパーレス化など
